方案概述
用于电子元器件/密封件检漏，方案由压氦罐、检漏罐、氦质谱检漏仪组成
方案优势
性能优越
最小可检漏率低，灵敏度高，检测量程达到12级
自动清氦
独特的气路设计，提高了对氦的抽速，缩短了清氦本底时间，有效防止氦污染
智能化生产
智能故障提示及报警功能
方案构成
用于电子元器件/密封件检漏，方案由压氦罐、检漏罐、氦质谱检漏仪组成
行业应用
华为科技有限公司
中国电子科技集团第三十八研究所
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